北京师范大学文理学院离子束实验室廖斌教授团队研发的“大面积超厚高强韧类金刚石碳膜的双脉冲制备关键技术及装备”在第50届日内瓦国际发明展上斩获金奖。

日内瓦国际发明展金奖

该技术成功突破了高质量大面积超强韧类金刚石膜沉积技术瓶颈，首创电磁“双脉冲”制备方法和关键装备，解决了超厚、高强韧、大面积高均匀及高沉积速率高性能类金刚石膜制备难题。团队发明了脉冲磁场与磁过滤磁场耦合技术方法，开发大束流超短脉冲瞬态成型及控制技术，攻克了膜层内应力、致密性和膜基结合力的技术难关，实现了兼具高硬度、强韧性、超厚类金刚石膜的制备。目前，该技术已成功应用于直升机叶盘、航天惯性导航陀螺仪、同位素靶、半导体静电卡盘、印刷线路板专用刀具等关键部件，显著提升了航空发动机在沙尘环境下的服役能力、惯性导航系统的可靠性和稳定性，并推动了半导体核心部件静电卡盘的国产化进程。团队围绕核心技术构建了严密的专利保护网，已获中国发明专利20余件、美日等国发明专利3件。此次获奖标志着北京师范大学离子束实验团队在“双脉冲”制备关键技术及装备研究方面取得国际领先地位。

据悉，日内瓦国际发明展作为世界三大发明展之一，由世界知识产权组织（WIPO）等权威机构认证，被誉为“发明界的奥斯卡”。本届发明展在瑞士日内瓦召开，共有来自全球40个国家和地区的1000多个创新发明参展。本届展会中国代表团成绩显著，共斩获77项金奖、96项银奖和55项铜奖。